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重磅!滨松子公司成立激光驱动光源事业部

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发表时间:2023-11-24 13:00

当地时间11月20日,隶属于日本滨松光子旗下的光电制造商Energetiq Technology宣布,公司已新成立了一个激光驱动光源(LDLS)业务部门。

Energetiq的LDLS技术创造了极小的、高亮度的等离子体,提供了高效的光收集和宽光谱范围,从深紫外到近红外,从1nm到2500nm甚至更高,运行时间超过10000小时。该技术可应用于包括半导体计量、椭偏、光刻和光刻胶开发等领域中。

目前,Energetiq已任命Vikram Singh博士担任这一新成立业务部门的副总裁兼总经理。Vikram Singh拥有丰富的半导体和可再生能源领域经验,曾在全球半导体刻蚀设备龙头——泛林半导体(Lam Research)、应用材料(Applied Materials)担任多个职位角色,包括产品开发、技术供应链行政管理等。在担任副总裁兼总经理期间,Singh博士将监督与激光驱动光源(LDLS)相关的研发、产品开发、市场营销、销售和服务运营。

Energetiq是工业和科学光源市场的一大参与者,总部位于美国马萨诸塞州威尔明顿,公司拥有超亮激光驱动光源(LDLS)、激光驱动可调谐光源(LDTLS)、极紫外(EUV)光源三大解决方案,并开发出了Chromatiq光谱引擎(CSE™)和无极Z-Pinch™EUV技术,始终致力于缩小专利超亮激光驱动光源和EUV技术在前沿研究和商业化之间的差距。这些技术补充和丰富了滨松光子的产品,包括光学传感器、光电二极管、硅光电倍增管、光电倍增管、红外探测器和需要这些组件的系统。

去年,Energetiq为其极紫外(EUV)光源产品建立了一个专门的部门,并在其母公司滨松光电(Hamamatsu Photonics)总部建立了一个研发机构,以支持EUV业务部门。之后,其激光驱动光源(LDLS)业务也已正式确立。

Energetiq生产的光源具有高可靠性、高性能、高亮度、长寿命等特点。其专利LDLS激光驱动白光光源是一款应用激光驱动技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。其光谱范围从深紫外线(DUV), 可见光到红外光区(IR),主要具有以下特点:

LDLS光源原理示意图(图源:Energetiq Technology)

另外,其激光驱动可调谐光源(LDTLS)可实现可调谐宽波长范围、高光谱分辨率和极长的使用寿命,方便光纤耦合输出。LDTLS具有精确的高性能单色器,用于精确的波长选择和可重复的光输出,可实现200nm/秒扫描速度。

重磅!滨松子公司成立激光驱动光源事业部

LDTLS光源原理示意图(图源:Energetiq Technology)

Energetiq首席执行官Debbie Gustafson表示:“我们认识到,我们的核心LDLS技术在为半导体行业及其他行业创造尖端产品方面发挥着关键作用。”

众所周知,高品质、高产量是满足当下半导体晶圆市场需求的关键。而晶圆计量工具,则可帮助半导体制造商设计和制造缺陷较少的高性能集成电路(IC),使其能够扩展以满足不断增长的需求。表征和测量薄膜、线宽、图案缺陷和其他潜在缺陷的速度越快,就能越快地解决问题并减少代价高昂的停机时间。宽波长、高光谱辐射光源能够帮助这些操作实现异常的速度和准确性。LDLS®独特的工作原理,具有小等离子体尺寸和高空间稳定性,使高通量测量成为了批量生产环境的理想选择。

文章分类: 专题报道
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